鉭加工件由于鉭與氧的反應(yīng)活躍，所以必需避開在即使存在少許空氣的氣氛中進行熱處理。因此，幾乎所有的退火都是在高度真空中進行，而且加熱爐的氣密性也必需很高。通常，鉭的熱處理溫度一般在950~1300℃，鉭與一般使用的鉭合金在這一溫度范圍內(nèi)不發(fā)生相變，熱處理僅僅是用來退火，因此加熱溫度和冷卻速度都不重要。為了產(chǎn)生完全的再結(jié)晶，熱處理時間稍長一點好。鉭都有很高的純度。通過退火晶粒變得非常大。結(jié)晶粒的尺寸大小由冷加工、純度、溫度及工藝步驟所決定。因此，溫度控制和工序控制是決定結(jié)晶大小的重要手段。鉭與其它的很多金屬不同，在熱處理前必須非常干凈。如不清洗得非常干凈， 便會發(fā)生由氫、氧、氮及碳造成的表面污染，成為脆化(硬化)組織。因為氫、氧、氮及碳在鉭退火的溫度范圍內(nèi)是非?；钴S的侵入型元素，一旦被這些元素污染，除了重新熔煉外，別辦法除掉。